Cressington 108Auto+108C Sputter and Carbon COATER
Cressington 108+108C 全自动镀金镀碳联用仪是最先进高质量的镀膜仪系统 ，在保证高性能镀膜同时，不会引起镀金与镀碳的相互污染，提高仪器使用效率以及镀膜精度。
优势说明： ●自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的导电喷镀效果。
●通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
●操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
●在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。
●数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
●独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。
●108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
●使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
技术规格：
样品仓尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结构
样品台：可放置12个标准SEM样品座，高度可在 60mm内调节
溅镀材料：Bradley 型高纯度碳棒 (6.15mm, [1/4"])， Au/Pt
溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，最大180A，配有过流保护
溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制
溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
模拟计量：真空 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A
厚度监测器： MTM-10高精度厚度监测器(选配)
控制方式：自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气
电源：200-240 VAC, 50/60Hz
功率：1000VA (包括镀碳机和真空系统)
