美国GATAN Solarus 高级等离子清洗系统
发布：2016-10-23 12:44 | 来源：未知 | 浏览：
Solarus 高级等离子清洗系统
高级等离子清洗仪可有效除去 TEM 和 SEM 样品上的碳氢污染物。
优点
Solarus 是新一代等离子系统，采用全新概念和最新技术设计而成，可提供有效、一致的清洗效果，而且容易操作。与市场上提供的任何等离子系统不同，它能提供最有效的清洗，从而除去透射电子显微镜 (TEM) 和扫描电子显微镜 (SEM) 样品上的碳氢污染。
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独有的 H2/O2（氢气/氧气）气体化学配方（专利申请中）— 这个独特的化学配方具有出色的清洁效果，可以减少对样品（包括多孔碳膜）的溅射伤害，并且对样品的加热作用明显低于传统的 Ar/O2（氩气/氧气）配方。
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交互式触屏界面提供七种预编程的方案，均采用优化的流程参数，确保清洗结果的一致性
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实时射频自动匹配和可变射频电源（10 – 65 W）可在任何清洁条件下确保最佳的等离子源
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流量控制器 (MFC) 提供准确的气体控制，以确保长期稳定的等离子，并且最多可以支持三种独立的气体：H2（氢气）、O2（氧气）和 Ar（氩气）
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多功能样品室可接受两个 TEM 样品杆，同时通过上面的盖板装载多个 SEM 样品
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涡轮分子泵系统可提高效率 — 抽气更快（50 秒，而竞争产品需要 3 分钟）；排气更快（5 秒，而竞争产品需要 6 分钟）
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多语言支持，包括英语、德语、法语、中文、韩语和日语等语言的操作说明
