日本Horiba GD-Profiler 2辉光放电光谱仪

发布:2016-10-05 16:23 | 来源:未知 | 浏览:

脉冲射频辉光放电光谱仪—可超快速进行薄/厚膜的深度剖析

在过去的15年中,HORIBA Scientific不断与先进的等离子体镀层研究组织进行跨领域合作,使得HORIBA Scientific的辉光放电光谱仪性能得到了大幅度提升。如今,辉光放电技术已能够很好地用于表征描述材料的特性,同时行业也建立了相应的ISO标准。

HORIBA Scientific研发的脉冲射频辉光放电光谱仪可以用于薄/厚膜中的深度剖析:元素的浓度、变化趋势以及镀层厚度,它的测量深度可以从表面几纳米达到150微米以上。同时,脉冲射频辉光放电光谱仪还具备很好的深度分辨率,可达1nm以下。这使得大家在进行薄膜分析时,可以很清晰地看到每一层元素的变化及界面的信息。这将有助于我们获取更多样品信息,从而改进生产工艺、提高产品质量等。

如今,脉冲射频辉光放电光谱仪已被广泛应用于各个研发、分析及生产领域,如纳米尺度及纳米尺度以上镀层的新材料发展、涂漆车体上腐蚀的起源研究、稀有金属的成分评估、工业上监控光伏器件的生产、硬盘或LED的生产控制以及锂电池改进等。

 GD-Profiler 2™提供了快速、同时分析所有感兴趣的元素,包括氮、氧、氢和氯。是薄膜描述和工艺研究的理想工具。
配有RF光源,可以在脉冲模式下检测易碎的样品,GD-Profiler 2™的应用范围从对腐蚀的研究到PVD涂层的工艺控制,在大学被广泛用于常规的金属和合金产品的研究。

     GD-Profiler Schematic

特征

  • RF射频发生器- 标准配置,符合E级标准,稳定性高,溅射束斑极为平坦,等离子体稳定时间极短,表面信息无任何失真。
  • 脉冲工作模式既可分析常见的涂、镀层和薄膜,也可以很好的分析热传导性能差和热易碎的涂、镀层和薄膜。
  • 多道(同时)型光学系统可全谱覆盖,光谱范围:110nm至800nm,包含远紫外,可分析C, H, O, N, Cl
  • HORIBA Jobin Yvon 的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器有最大光通量,因而有最高的光效率和灵敏度
  • 专利HDD® 检测器可进行快速而高灵敏的检测,动态范围达到10个量级
  • 宽大的样品室方便各类样品的加载
  • 功能强大的QUANTUMT XP软件可以多种格式灵活方便的输出检测报告
  • 激光指点器(CenterLite laser pointer,专利申请中)可用于精确加载样品
  • HORIBA Jobin Yvon独有的单色仪(选配件)可极大的提高仪器的灵活性,可同时测定N+1个元素

    GD-OES功能及用途

    脉冲射频辉光放电光谱仪能够在短短几分钟内帮助您获得如下信息:

    • 样品中含有什么元素?
    • 属于哪个浓度水平?
    • 样品在深度上是否分布均匀?
    • 样品是否有镀层或应用了表面处理?
    • 镀层的厚度是多少?
    • 界面是否有污染?
    • 样品是否被氧化?
    • 不同层之间是否存在散射?
    铜铟镓硒CIGS